[더구루=오소영 기자] 스위스 태양광 업체가 중국 업체가 특허 기술을 침해했다는 한화큐셀의 주장에 반기를 들었다.

15일 관련업계에 따르면 마이어 버거(Meyer Burger)는 최근 한화큐셀이 미국 진코솔라와 (JinkoSolar), 롱지솔라(LONGi Solar), 알이씨그룹(REC Group)을 상대로 제기한 특허 침해 소송과 관련 입장을 발표했다.

마이어 버거 측은 "한화큐셀이 특허를 침해했다고 주장한 기술은 원자증증착(ALD)에 관한 것인데 중국 업체들은 플라즈마화학기상증착(PECVD)을 사용하고 있다"고 강조했다.

이는 특허 침해 소송 직후 롱지솔라가 발표한 입장과 동일하다. 롱지솔라는 "자사는 PECVD를 제조 공정에 도입했으며 한화큐셀의 ALD 기술과는 무관하다"고 밝힌 바 있다.

ALD와 PECVD는 태양광 전지 제조 공정 중 퇴적물처럼 층층이 쌓아올리는 증착에 관한 기술이다. PECVD는 낮은 온도에서 플라즈마를 이용해 원하는 물질을 기판에 증착시키는 방식이다. ALD는 원료와 가스를 교차로 주입해 반응시키며 기판 위에 형성된 박막을 성장시킨다.

업계는 마이어 버거의 주장이 이번 소송에 어떤 영향을 미칠지 주목하고 있다. 마이어 버거는 롱지솔라와 오랜 기술 파트너사다. 이 회사는 롱지솔라에 태양광 전지 제조에 쓰이는 MAiA 장비를 공급하고 있다.

한화큐셀은 특허 침해 소송이 특정 제조 공정과 무관하다는 입장이다. 한화큐셀 관계자는 "PECVD나 ALD 등 특정 제조 공정에 국한된 이야기가 아니다"라며 "태양 전지 구조 전반에 대해 소송을 낸 것"이라고 밝혔다.

한화큐셀은 최근 태양광 셀 효율을 향상시키는 특허기술 보호를 위해 미국과 독일, 호주에서 특허 침해 소송을 제기했다. 미국에선 진코솔라, 롱지솔라, 알이씨그룹 3개사, 독일에선 진코솔라와 알이씨그룹, 호주에선 진코솔라와 롱지솔라를 상대로 소송을 진행 중이다.

한화큐셀이 침해당했다고 주장하는 특허는 퍼크기술 기반의 고효율 태양광 셀 양산이 가능하도록 한 기술이다.

퍼크기술은 태양광 셀 후면에 반사막을 삽입해 태양전지 효율을 높이는 방식이다. 한화큐셀은 180~200㎛ 두께의 태양광 셀에 산화알루미늄 성분의 첫번째 층과 수소를 포함한 두 번째 층으로 이뤄진 막을 형성해 고효율 태양광 셀의 대량 양산이 가능하도록 했다.

한화큐셀은 특허 기술을 활용해 2012년 세계 최초로 퍼크기술에 기반한 퀀텀(Q.ANTUM) 셀 양산에 성공했다. 작년 말에는 지속적인 기술 혁신을 통해 10GW이상의 퀀텀 셀 누적 생산량을 달성했다.